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2021/6/10 20:59
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東京エレクトロン、オランダのimec-ASML 高NAラボと提携。微細化対応技術で
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 東京エレクトロンは、オランダのimec-ASML 共同高 NA EUV 研究所(高NAラボ)と提携し、2023年に同ラボが稼働開始予定の次世代高NA EUV露光装置とインライン(一体化)させた塗布現像装置を導入すると発表した。